Proċess ta 'kisi u teknoloġija ta' preparazzjoni ta 'mira ta' liga ta 'l-aluminju tat-titanju

B'kuxjenza ambjentali dejjem tikber, it-teknoloġija tal-kisi tal-wiċċ għall-materjali għaddiet gradwalment minn electroplating tradizzjonali u kisi kimiku għal sputtering bil-vakwu. Magnetron sputtering bil-vakwu intuża ħafna f'kisjiet dekorattivi tal-ħardwer, kisjiet protettivi tal-wiċċ, kisjiet ta 'prodotti elettroniċi, kisjiet ta' lqugħ elettromanjetiku, u kisjiet tal-ħġieġ tal-karozzi u arkitettoniċi.

Konsegwentement, id-domanda għal miri ta 'kisi relatati f'dan il-qasam hija estremament urġenti. Titanju-liga tal-aluminju hija mira ta 'sputtering ta' liga għal kisi bil-vakwu. Billi taġġusta l-kontenut tat-titanju u l-aluminju f'din il-liga, jistgħu jinkisbu proprjetajiet differenti. Il-komposti intermetalliċi tat-titanju-aluminju huma materjali iebsa u fraġli b'reżistenza eċċellenti għall-ilbies. Il-kisi tal-wiċċ ta 'għodod tal-qtugħ ordinarji b'dan il-kompost jista' jestendi b'mod effettiv il-ħajja tas-servizz tal-għodda.

1. Miri ta 'sputtering

Sputtering mirihuma sorsi ta' sputtering użati biex jiddepożitaw diversi films irqaq funzjonali fuq sottostrati bl-użu ta' magnetron sputtering, multi-arc ion plating, jew tagħmir ieħor ta' kisi taħt kundizzjonijiet ta' proċess xierqa. Il-miri ta 'sputtering jintużaw ħafna f'firxa wiesgħa ta' applikazzjonijiet, inklużi dekorazzjoni, forom, ħġieġ, apparat elettroniku, semikondutturi, reġistrazzjoni manjetika, wirjiet ta 'pannelli ċatti-, u ċelloli solari. Applikazzjonijiet differenti jeħtieġu materjali fil-mira differenti. Ibbażat fuq il-metodu ta 'produzzjoni, miri sputtering jistgħu jiġu kategorizzati bħala miri trab, miri tidwib, u miri sprej. Ibbażat fuq il-forma, jistgħu jiġu kkategorizzati bħala miri ċatti u miri tubulari, b'miri ċatti aktar kategorizzati bħala miri rettangolari u miri ċirkolari. Ibbażat fuq il-kompożizzjoni, jistgħu jiġu kklassifikati f'diversi tipi, inklużi miri tal-metall pur, miri tal-liga, miri tal-ossidu, u miri tas-siliċidu.

2. Teknoloġija ta 'preparazzjoni ta' mira ta 'sputtering ta' liga ta 'l-aluminju tat-titanju

Materjali fil-mira tal-liga ta 'sputtering jeħtieġ li jissodisfaw ir-rekwiżiti ta' purità, densità, daqs tal-qamħ, finitura tal-wiċċ, eċċ Fost dawn, il-purità, id-densità u d-daqs tal-qamħ huma direttament relatati mal-proċess ta 'preparazzjoni tal-materjal fil-mira Preparazzjoni ta' liga tal-metall normalment tadotta l-metodu ta 'tidwib ordinarju. Madankollu, il-preparazzjoni ta 'liga ta' l-aluminju tat-titanju mhix adattata għal dan il-metodu.

Ir-raġunijiet ewlenin huma kif ġej:

(1) Il-proċess tat-tidwib tal-liga tal-aluminju tat-titanju huwa suxxettibbli li jifforma varjetà ta 'komposti intermetalliċi, bħal Gr1, TIA1, TIAL, TiAL, eċċ Il-preżenza ta' dawn il-komposti intermetalliċi twassal għall-fraġilità tal-ipproċessar tal-liga tal-aluminju tat-titanju, speċjalment meta l-kontenut tal-aluminju fil-liga jaqbeż il-50% (proporzjon atomiku). Din il-problema hija partikolarment ovvja;

(2) Meta tipprepara materjali fil-mira tal-liga tal-aluminju tat-titanju permezz ta 'proċess ta' tidwib, il-bżieżaq, il-looseness u s-segregazzjoni huma ġġenerati faċilment matul il-proċess tal-ikkastjar, li jirriżulta f'kompożizzjoni u struttura irregolari fil-liga, li tirriżulta fi kwalità mhux stabbli tal-materjal fil-mira.

3.Metodu ta 'l-Ipressar Isostatiku Hot u Sinterizzazzjoni

L-istudjużi Zhang Fengge u oħrajn żviluppaw metodu tal-metallurġija tat-trab għall-preparazzjoni ta' miri ta' liga ta' titanju-aluminju. Dan il-metodu jinvolvi t-taħlit tat-titanju u t-trab tal-aluminju. It-taħlita tgħaddi minn iċċarġjar tat-trab, ippressar iżostatiku kiesaħ, u degassing qabel ippressar iżostatiku sħun. Fl-aħħarnett, il-mira hija sinterizzata u pproċessata biex tipproduċi l-mira tal-liga tal-aluminju tat-titanju-.

Konklużjoni Fil-qosor

Is-sinterizzazzjoni tal-ippressar bis-sħana hija l-aktar teknoloġija promettenti għall-preparazzjoni ta' miri ta' titanju-sputtering tal-aluminju. Din it-teknoloġija toffri effiċjenza għolja fil-proċess u hija adattata għall-produzzjoni industrijali. Madankollu, il-preparazzjoni ta 'miri ta' liga ta 'titanju-l-aluminju bl-użu ta' din it-teknoloġija teħtieġ esperimentazzjoni ripetuta u l-għażla ta 'aġenti ta' rilaxx xierqa biex itejbu r-rendiment u l-utilizzazzjoni tal-moffa. Barra minn hekk, l-ottimizzazzjoni tal-kundizzjonijiet tal-proċess tas-sinterizzazzjoni u tal-ippressar bis-sħana (temperatura tas-sinterizzazzjoni, rata ta 'tisħin, u pressjoni tal-ippressar bis-sħana) hija meħtieġa biex tittejjeb l-effiċjenza tal-produzzjoni u b'hekk jitnaqqsu l-ispejjeż. Bit-tkabbir mgħaġġel tal-kisi tal-sputtering u l-popolarizzazzjoni gradwali tiegħu fiċ-Ċina, id-domanda annwali tas-suq għall-miri tal-sputtering qed tiżdied b'mod mgħaġġel ukoll. Għalhekk, ir-riċerka dwar it-teknoloġija tal-preparazzjoni tal-mira tat-titanju-liga tal-aluminju għandha sinifikat prattiku u prospetti kbar ta 'applikazzjoni.

High Purity Titanium Sputtering Targets